
| Nagib rešetke | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Toplinsko širenje | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezolucija | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ponovljivost | ±1 korak | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. brzina m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vrsta izlaza | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. ubrzanje | 20 m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Zaštita | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Napajanje | 60mA maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fazni pomak | 90°±5° električni | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Radna temperatura | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura skladištenja | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vlažnost | 100% nije kondenzirano |